F20膜厚测量系统工作原理分析（f20膜厚测试仪说明书）

F20膜厚测量系统工作原理分析

这是一种行业标准、低成本、多功能桌面涂层厚度测量系统，已安装在全球5,000多个装置中。它可用于广泛的应用，从研究和开发到制造现场的在线测量。F20基于光学干涉法，可以在约1秒内轻松测量透明或半透明薄膜的厚度、折射率和消光系数。它还支持多点在线测量，并支持RS-232C和TCP/IP等外部通信，因此也可以从PLC或主机进行控制。

F20膜厚测量系统工作原理分析（f20膜厚测试仪说明书）

当入射光穿透不同物质的界面时将会有部份的光被反射，由于光的波动性导致从多个界面的反射光彼此干涉，从而使反射光的多波长光谱产生振荡的现象。从光谱的震荡频率，愈多的震荡代表较大的厚度。而其他的材料特性如折射率与粗糙度也也能同时测量。

主要特点

兼容多种薄膜厚度（1nm至250μm）

兼容宽波长范围（190nm至1700nm）

强大的膜厚分析

光学常数分析（折射率/消光系数）

紧凑型外壳

支持在线测量

主要用途

平板

单元间隙、聚酰亚胺、ITO、AR膜、各种光学膜等

半导体

抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等

光学镀膜

防反射膜、硬涂层等

薄膜太阳能电池

CdTe、CIGS、非晶硅等

砷化铝镓（AlGaAs）、磷化镓（GaP）等

医疗保健

钝化、药物涂层等

基本应用:

基本上所有光滑的、半透明或低吸收系数薄膜都可以测量。这包括几乎所有的电介质与半导体材料，例如：