四探针电阻测试仪（电阻测试仪图片）

四探针电阻测试仪

卓海科技作为国内重要的半导体前道量检测设备供应商，四探针电阻测试仪，主要通过对退役设备的精准修复和产线适配来实现其再利用价值，为客户提供高稳定性、品类丰富的前道量检测修复设备，四探针电阻测试仪，并通过配件供应及技术服务满足客户全方位需求。此外，公司也致力于前道量检测设备（如应力测量设备、四探针电阻测试仪等）及其关键配件（如激光器等）的自主研发。

四探针电阻测试仪（电阻测试仪图片）

目前，公司已拥有能够适用多种晶圆材质、3-12英寸晶圆尺寸，最高可达32nm制程的修复工艺平台，确保技术水平及生产能力能够满足下游市场迭代需求。同时，公司自研的四探针电阻测试仪、激光器正在进行客户验证，应力测量设备已签署销售订单。

截至招股说明书签署日，公司总股本7,168.6725万股，其中相宇阳直接持有卓海科技3,440.37万股，直接持股比例为47.99%，通过卓海管理间接持有卓海科技352.71万股，间接持股比例为4.92%，合计持有卓海科技52.91%股权，为公司控股股东及实际控制人。

电阻测试仪图片

据介绍，卓海科技是国内重要的半导体前道量检测设备供应商，主要通过对退役设备的精准修复和产线适配来实现其再利用价值，为客户提供高稳定性、品类丰富的前道量检测修复设备，并通过配件供应及技术服务满足客户全方位需求。此外，公司也致力于前道量检测设备（如应力测量设备、四探针电阻测试仪等）及其关键配件（如激光器等）的自主研发。

据悉，前道量检测设备作为贯穿光刻、刻蚀等晶圆制造全过程的质量控制设备，根据功能用途的不同，可分为测量设备和检测设备。其中，测量设备主要用于量化描述晶圆的结构尺寸和材料性质，测量薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理学参数，以确保其符合设计要求；检测设备主要用于识别并定位晶圆表面或电路结构中存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题。

四探针电阻测试仪原理

四探针测试仪的特点是主机可以配置双数字表，在测量的时候另一个数字表可以时刻监测测量全程的电流变化，免除了测量电流与电阻率的转换，可以更加准确的了解电流问题，下面是四探针测试仪在半导体行业中的应用。

目前，我们熟悉的薄膜半导体材料有：根据材料本身的用途和性能所用的薄膜;覆盖膜;导电聚合物膜，四探针电阻测试仪，高低温电热膜;隔热、导电窗膜，导电(屏蔽)布，装饰膜，装饰纸;金属化标签，合金箔片;熔融，烧结，溅射，涂布，电阻性，电容式触摸屏薄膜。

导电由电子和腔两种类型的载体实现，室温的电阻率一般在10-5至107欧元米之间。通常电阻率随温度而变化：如果添加活性杂质或用光或射线照射，其电阻性可以在几个数量级内改变。半导体材料的导电性对外部条件的变化(如热、光、电、磁等)非常敏感，四探针电阻测试仪，可用于创建各种用于信息转换的敏感组件。半导体材料的特点参数包括禁止带度、电阻性、载体迁移速率、载体寿命不平衡和位