表面轮廓仪（表面轮廓仪原理）

1、表面轮廓仪概述

表面轮廓仪是基于windows系统为操作平台，具有强大数据处理分析功能的测量仪器。表面轮廓仪

表面轮廓仪（表面轮廓仪原理）

2、表面轮廓仪简介

LK-200M型表面轮廓仪采用广精精密新的基于windows版本的测量软件，具有强大卓越的数据处理分析功能。测量时，零件装夹位置即使任意放置，也能得到满意的测量结果；即使需要测量长度为220mm的工件，测量软件也能保证其1μm的采样步长。

LK-200H型表面轮廓仪采用耐用可靠的16位A/D功能板，其极高的分辨率量程比（1/65536），用户即使需要大量程测量，仍能保持极高的测量精度。表面轮廓仪LK-200M型表面轮廓仪采用工控计算机处理测量数据及仪器控制操作。其高质量、高可靠性及突出的防尘、防振、防油、防静电能力使广精精密用户将使用维护成本降至低。

3、表面轮廓仪功能

角度处理：两直线夹角、直线与Y轴夹角、直线与X轴夹角

点线处理：两直线交点、交点到直线距离、交点到交点距离、交点到圆心距离、交点到点距离

圆处理：圆心距离、圆心到直线的距离、交点到圆心的距离、直线到切点的距离

线处理：直线度、凸度、LG凸度、对数曲线

4、表面轮廓仪原理

表面轮廓仪采用直角坐标法，传感器移动式。直线运动导轨采用高精度气浮导轨，作为测量基准；电器部分由高级计算机组成；测量软件采用基于中文版Windows操作系统平台的系统测量软件，完成数据采集、处理及测量数据管理等工作。

5、表面轮廓仪技术规格

测量长度：≤200mm

Y量程：10mm

可测零件直径：12mm≤内圈≤300mm，外圈可较大表面轮廓仪工作压力：0.35～0.43Mpa气源压力：0.45～0.80Mpa

气源流量：≥0.2m3/min

电源：AC220V±10%50Hz

环境要求：温度：10～30℃；相对湿度：＜85%

主机重量：约200Kg

主机尺寸：750mm×480mm×1300mm

6、表面轮廓仪仪器精度

导轨直线性系统精度：≤0.2μm/100mm

示值误差:0.6%-0.15%±3μm

电感传感器分辩率/量程：1/65536

X向光栅分辩率:1μm国产

7、表面轮廓仪电器系统

用于处理测量数据，仪器控制操作界面的工控机

电感传感器及16位A/D转换功能板

前置放大箱

光栅尺

彩色喷墨打印机

8、表面轮廓仪机械结构

高精度气浮导轨

花岗岩工作台面

进口滚珠丝杆立柱

硬质合金测量头（斜测头、锥形测头）及宝石球测头

空气过滤系统

装夹机构

人体工学计算机台