皮拉尼真空计（皮拉尼真空计计算）

皮拉尼真空计

对于所有真空应用来说，皮拉尼真空计，准确且可重复的真空测量必不可少。这是对工艺流程开发与控制的保证。普发真空通过多种测量方式覆盖了广泛的真空测量范围。常用测量方式例如：皮拉尼、皮拉尼/冷阴极和电容式真空计。

皮拉尼真空计（皮拉尼真空计计算）

皮拉尼真空计

（压力范围最高1·hPa）

借助脉冲技术，普发真空的创新型真空计能够提供比传统皮拉尼真空计更高的精度。压力测量范围介于10hPa至1·hPa。皮拉尼真空计是具有最佳成本效益的真空计之一。

电容式真空计

（压力范围最高1·hPa）

对比皮拉尼真空计，电容式真空计的精度更高。二者的使用均与气体类型无关。绝对压力取决于膜片的挠度。因此，电容式真空计在1,000hPa至1·的测量范围内提供了最佳性能。只有参照工作压力才能作出合适的选择。

皮拉尼真空计计算

在冷冻干燥过程中，使用电容式压力计控制冷冻干燥室内真空压力，该压力计测量冷冻干燥室内的绝对压力。然而，皮拉尼真空计，皮拉尼真空计的工作原理是测量冷冻干燥室内流动气体的导热系数。一次干燥期间，皮拉尼真空计，冷冻干燥腔体充满升华气体时，皮拉尼压力计的读数比电容式压力计（即MKSBaratron）高出约60%。这是因为水蒸气的导热系数是氮气导热系数的1.6倍。利用这个特性，皮拉尼真空计可用于一次干燥结束测试。皮拉尼压力开始急剧下降（即将开始）的点表明气体成分正在从主要是水蒸气转变为氮即升华“基本上”完成。

皮拉尼真空计工作原理

摘要：本文针对实验室用冷冻干燥机的真空度控制，提出了干燥过程中的真空度精密控制解决方案。解决方案主要是采用双真空计（电容真空计和皮拉尼真空计）测量干燥过程中的真空度变化，双通道PID真空度控制器一方面采集电容真空计信号并通过电动针阀对干燥腔室的真空度进行高精度控制，同时采集皮拉尼真空计信号显示和记录整个干燥过程中的真空度变化曲线。此解决方案可完美的实现干燥过程中的真空度精密控制和监测。

在典型的真空冷冻干燥过程中，为了监控整个过程的真空度变化，一般会采取真空度比较测量方式，即在腔室和冷凝器上分别配置电容真空计和皮拉尼真空计。由此在冷冻干燥过程中，用电容真空计测量和控制腔室真空度，同时使用皮拉尼真空计进行真空度监测。这种方法利用了皮拉尼真空计的气相成分依赖性，该皮拉尼计的输出变化反映了当过程从一次干燥过渡到二次干燥时气相成分的变化。这个典型过程中的真空度和温度变化如图1所示。一般是基于电容真空计来控制腔室真空度，皮拉尼真空计，这不仅仅是因为它独立于气相成分而测量绝对压力（绝对真空度）。电容式压力计比皮拉尼压力计更准确、线性和稳定。