电子制造洁净室空调系统的设计安装

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电子制造洁净室空调系统的设计安装

净化空调系统设计，根据工艺布局设置相应的净化空调系统，基于净化区技术夹层空间的及其有限，系统采用净化空气机组+风机过滤送风单元+干盘管表冷其的组合方式。为节能降耗，机组设置了变频器，并可通过末端FFU的档位调节实现经济运行风量，以有效节能。洁净室气流组织为顶送侧下回的形式。送风采用G效过滤器顶送风方式，回风通过设在洁净室回风夹道下侧的回风格栅，经夹道的干盘管冷器处理后回至吊顶上方的送风静压箱，并再次送人洁净室，送风动力由FFU风机提供。洁净系统采用三级过滤措施，即在MAU内设置初效板式过滤器一道，末端FFU配置了G效过滤器，洁净室送风湿由MAU保证，洁净和温有FFU和DCC保证。

电子制造洁净室空调系统的设计安装，空调水系统的控制，采用百分比特性电动压差旁通阀门控制，就是对冷冻水的旁通流量进行浮点式控制，以实现高精可靠控制，排除了线性调节方式存在的缺陷，即通过PID控制器检测冷冻水供回水的压差，来实时调节旁通阀门的开，从而使管网压力达到平衡。

由于洁净室温要求为232℃，相对湿605%，即在生产条件下要求全年恒温恒湿，且由于洁净生产车间设备热湿负荷较D，故该空调系统大多处于过渡季工况下运行，并么有明显的冬季、夏季工况表征；为了实现节能，在保证温湿工艺要求的前提下，尝试了人为干预自动控制，如夏季时手动切断了电加热段的电源，避免了系统自动控制而普遍存在的冷热抵消现象。